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页面ID:112662更新日期:2024年3月14日

【山梨县产业技术中心职业介绍所】

为了更好地利用产业技术中心,介绍中心的研究和设备等。

TOPIC：【设备介绍】可高精度分析~X射线光电子分光分析装置(XPS)的介绍~

 

引进之际

山梨县产业技术中心通过“2023年度产业技术中心制造支援功能强化事业(地方创生交付金)”进行了设备的扩充。这次,从整备好的机器中介绍“X射线光电子分光分析装置(XPS)”。

 

X射线光电子分光分析装置(XPS)是指

该装置是通过测定向样品照射X射线时从表面到数nm的最表面产生的光电子能量,分析样品表面存在的元素及其结合状态的装置。例如,如Al2O3、Al2O3、_Al(OH)3等,如果测定结合状态不同的Al化合物,则检测出的光电子能量的峰值位置不同,可以知道结合状态。另外,通过Ar离子蚀刻在每削几nm时进行测定,可以调查深度方向的组成变化。

可以用于表面变色、超薄膜的分析、功能性多层薄膜的深度方向分析等。

取装置的英语名(X-ray Photoelectron Spectrosographic)的首字母也被称为XPS。

 

 

装置的特征

• X射线的照射直径变小,可以分析以前设备很难的微小领域。
• 因为可以从样品表面的垂直方向观察,所以可以正确指定分析位置。
• Ar离子蚀刻除了以往的“单原子”离子束之外,还配备了树脂膜等有机物的“集群”离子束。
• 为了防止带电的中和枪不仅可以照射负电子,还可以照射正的Ar离子,因此对于难以防止带电的绝缘物,也可以在与正负平衡的带电少的状态下进行分析。

 

主要规格

制造商型号	热身费希尔科学股份有限公司NexsaG2
X射线源	Al单色列表
X射线照射径	10μm~400μm(步骤5μm步)
光电子取入方向	对水平配置的样品垂直
最大样品尺寸	测量面60×60mm,厚度20mm
角度分解XPS	最大可倾斜到90°
蚀刻方式	Ar离子(单原子/集群可切换)
中和机构	低能电子和低能Ar离子同时同轴照射

 

装置的用途

通过本机器的引进,县内的机械电子产业相关企业可以在以下用途中使用。

• 表面数nm的再表面分析
• 确认晶圆表面的清洗效果
• 功能性薄膜的分析
• 氧化皮膜化学合合成状态的分析
• 不锈钢表面不动态层的评价
• 零件表面的污垢・色斑原因调查

 

使用开始时间

自2024年4月1日起

 

负责人说一句话

比以往设备高灵敏度,测定时间大幅缩短。请一定要活用便于使用、高精度的X射线光电子分光分析装置(XPS)。

工业材料科

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