页面ID:114953更新日期:2024年4月25日
从这里开始就是正文。
白色干涉方式表面形状测定机
使用白色干涉条纹,高精度地非接触测定表面粗糙度和微型形状的装置。
可以三维测量和显示纳米级的样品表面形状。
可用于半导体、光学部件、模具等要求精度的产品的品质评价。
【该装置是2023年度通过“地方创生交付金”导入的。】
机种名
Amertec株式会社扎伊戈事业部
Nexview NX2
规格
| 测定方式 | 直立走查型低科希莱恩斯干涉法 |
| 光源 | 高亮度白色LED |
| 扫描范围 |
皮埃森扫描150μm 马达扫描20mm RMS再现性:0.005nm 表面形状再现:0.06nm |
| 电动XY舞台 | 200mm×200mm卷 |
| 照相机像素数 | 1600×1200、1000×1000像素 |
| 光学变焦 | 3位置电动轮车式 |
| 物镜 | 1ｘ、10ｘ、20ｘ、50ｘ |
设备使用费
8,690日元/1小时
委托考试手续费
5,540日元/1件
担当
甲府技术支援中心
机械技术部
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