页面ID:114955更新日期:2024年4月25日
从这里开始就是正文。
激光干涉式平面度测定机
以He-Ne激光为光源的干涉条纹,对样品表面高低差进行非接触测定的装置。
特别是可以高精度地测量镜面加工过的半导体晶片和玻璃基板等平面度。
可用于高精度加工产品的品质评价。
【该装置是2023年度通过“地方创生交付金”导入的。】
机种名
Amertec株式会社扎伊戈事业部
Verifire
规格
| 测定原理 | 菲索式激光干涉仪 |
| 测定方法 |
相位置式干涉法(PSI) |
| 光源 | He-Ne激光波长633nm |
| 分辨率 | 1200×1200像素 |
| 测量光束直径 | 4英寸6英寸 |
| RMS值再现性精度 | 不到0.06nm |
| RMS值波面反复精度 | 不到0.35nm |
设备使用费
3,610日元/1小时
委托考试手续费
3,010日元/1件
担当
甲府技术支援中心
机械技术部
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