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页面ID:114931更新日期:2024年4月25日

高精度电子探测微分析仪(电子探测微分析器)

通过向测定物照射电子线,来调查形状和材质的装置。除了根据产生的特性X线的波长确定元素的检测器(WDS)之外,还有通过产生的软X线分析化学合成状态的检测器(SXES)。　　　

因为可以分析至今为止不可能的微量成分,所以也可以用于半导体高性能化的材料开发。

【该装置是2023年度通过“地方创生交付金”导入的。】

机种名

日本电子株式会社　

JXA-iHP200F

规格

 

电子枪	电场放出型
电子显微镜的种类	二次电子像、反射电子像
赛跑倍率	40~300,000倍
加速电压	1至30kV(0.1kV步骤)
最大样品尺寸	100×100×50mm
分析领域	90mm×90mm
检测器	EDS、WDS、SXES-ER
可分析元素范围	5B～92U（EDS、WDS）

设备使用费

8550日元/1小时(能量分散型分析)

9520日元/1小时(波长分散型分析)

14760日元/1小时(软X射线分析)

委托考试手续费

7770日元/1件(像观察)

11970日元/1件(定性分析(波长分散型分析装置)

11970日元/3元素(面线定性分析(波长分散型分析)

21510日元/1件(定性分析(软X射线分析)

担当

甲府技术支援中心
材料燃料电池技术部工业材料科

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